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在IBM工作的林本坚也不能放过。
这位对于浸没式光刻技术有鬼才一般的想法,必须要招揽。
此时,这位天才就有了浸没式光刻技术的想法。
当芯片制程卡在65nm之际,林本坚看到浸没式光刻技术的机会。
为解决技术难题、消除厂商疑虑,林本坚还花费半年时间带领团队发表3篇论文。
当时,业界质疑水作为一种清洁剂,会把镜头上的脏东西洗出来,还有人担忧水中的气泡、光线明暗等因素会影响折射效果。
而根据林本坚团队的研究,他们提出一种曝光机,可以保持水的洁净度和温度,使水不起气泡。
虽然这种曝光机并未在实际中被采用,但林本坚的研究证明技术上的难题是可以被解决的。
他还亲自奔赴美国、日本、德国、荷兰等地,向光刻机厂商介绍浸没式光刻的想法,但是,有能力进行研发的大厂普遍不买账。
个中原因也不难理解,自20世纪60年代起,玩家入局光刻机市场,在干式光刻技术上投入大量财力、人力、物力,好不容易踏出一条可行的技术路线。
如果按照林本坚“加水”的想法,各位前辈就得“一夜回到解放前”,从技术到设备重新探索,很少有人舍得这么高的沉没成本。
但是,“很少有人”不代表“没有人”。
但偏偏阿斯麦就是这么一个敢吃螃蟹的人,比如EUVLLC联盟里,美国成员构成主体。
在对外国成员的选择上,英特尔和白宫产生分歧。
英特尔看中阿斯麦和尼康在光刻机领域的经验,想拉他们入伙,但白宫认为如此重要的先进技术研发不该邀“外人”入局。
此时,阿斯麦显示出惊人的前瞻能力,它向美国佬表示:我愿意出资在你们村建工厂和研发中心,并保证55%的原材料都从美国采购,只求你们研究EUV时一定要带我玩。
北欧同志如此的诚意让美国佬难以拒绝,就这样,阿斯麦成为EUVLLC里唯二的两家非美国公司之一,另一家是德国公司英飞凌。
尽管EUVLLC证明用极紫外线作为光源造光刻机是可行的,但却没指出一条明路。
时间过去好几年,EUV光刻机还是连个影子都没有,但巨额的研发资金、难以跨越的技术瓶颈已经足以让大多数玩家望而却步。
但是,阿斯麦还是不死心,并且决定要牵头欧洲的EUV研发项目。
如果说在EUVLLC中,阿斯麦是蜷缩在角落里等待被其他大玩家“带飞”,而这一次,阿斯麦则是要自己做领头雁。
就是这么一个牛逼的公司,才能够在光刻机市场走得那么远。
苏老师暗自想,要是等到美国佬想要成立EUVLLC时,发现那些公司都已经被自己收购,该会是个什么样的表情。
那估计应该很精彩吧。
十天后,盛世的工作人员离开香港,前往苏辰指定的那些国家。
而苏辰也通过香港的办公室,邀请时任阿斯麦的CEO斯密特,和另一股东亚瑟·德尔·普拉多来香港,洽谈阿斯麦的发展前途。
因为有一场婚礼在等着他,暂时没时间去荷兰。
只能先把这两位邀请过来,大家坐下来好好谈一谈阿斯麦的发展。
当然,为了把亚瑟手里的股份收购过来,前期自然是不可能透露自己在这个领域的计划,也最多就是象征性扶持一下。
等到亚瑟不想玩了,就把他手里的股份给薅走。
此时缺钱缺光学器件的阿斯麦,市场占有率为零的ASML,拿什么去竞争呢?
前段时间,斯密特到美国开展会时向应用材料的CEOJimMorgan请教。
应用材料公司现在规模还不大,但已经是ASM的晶圆前后道工艺的直接竞争对手。
斯密特是托了飞利浦的人介绍,所以Morgan就坦诚发表意见。
Morgan说,他肯定不会去碰光刻,光刻根本不能说是一道工序,而是要有能力驾驭机器和光。
他补充说,半导体厂一般只会从一家买光刻而且要董事会级别才能决定。
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