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饭后,赵母带着赵月兰回屋休息,赵部长却叫住了许志远。
“志远,陪我到院子里走走。”赵部长的语气温和,却透着几分深意。
许志远点了点头,跟着岳父走到院子里。夜风微凉,赵部长背着手,走到院子中央,停了下来,转头看向许志远。
“志远啊,今天的事,我是真高兴。”赵部长语气里透着几分欣慰,“月兰怀孕了,你又这么出色,咱们赵家是真的后继有人了。”
“爸,您别这么说。”许志远笑着说道,“我只是做了我该做的。”
赵部长点了点头,脸上的笑容渐渐收敛,语气变得严肃起来:“不过,志远,有件事我还是得跟你聊聊。”
“您说,爸。”许志远也收起了笑容,认真地看着赵部长。
赵部长沉默了一会儿,轻轻叹了口气:“我最近听到一些传言,说你在搞光刻机的事上……一直没什么动静。志远,你是不是遇到什么难处了?”
许志远愣了一下,随即笑了笑:“爸,这事您不用担心,我心里有数。”
赵部长皱了皱眉,语气中透着担忧:“志远,我不是不相信你,可光刻机的难度,你自己也清楚。那些人可是盯着你呢,一旦你没搞成,他们绝不会放过你。”
“我知道。”许志远点了点头,眼神却异常坚定,“爸,我许志远不是那种喜欢吹牛的人,更不会拿自己的前途开玩笑。这光刻机,我既然敢接下来,就一定会搞成!”
赵部长盯着他看了几秒,似乎在判断他的真心。最终,他叹了口气,拍了拍许志远的肩膀:“志远,既然你这么有信心,那我就不多说了。不过,你一定要量力而行,保住自己最重要,知道吗?”
许志远笑着点了点头:“爸,您放心吧,到时候我一定让您看到结果!那些不信我的人,等着瞧好了!”
赵部长看着他那自信的模样,心里虽然还有几分担忧,但也不好再多说什么,只能点了点头:“好,我等着你给我带来好消息!”
……
许志远站在小世界中央,面前是那台他耗费无数心血、倾尽全力打造出来的光刻机。
一台占地约两米长、两米宽的庞然大物静静立在那里,表面泛着金属的冷光,复杂的结构和精密的零件散发着一种独特的机械美感。
光刻机的核心部件,包括深紫外光源系统、光学投影系统、以及纳米级精度的步进扫描平台,一切都被他调试到了最佳状态。
这是一台第一代光刻机,虽然制程还停留在几微米级别,但对于这个时代的国内技术水平而言,这已经是前所未有的突破。
许志远站在光刻机面前,深吸了一口气,目光中充满了兴奋和期待。他知道,这不仅仅是一台机器,而是一个国家工业科技迈出的第一步。
“系统,启动光刻机。”许志远语气低沉却坚定,仿佛在宣告一个全新时代的开始。
随着一声命令,小世界中的智能系统迅速响应,光刻机开始运转。
首先启动的是深紫外光源系统,一束高强度的193纳米深紫外激光束在光束整形模块中被调整成均匀的矩形光斑。随后,光束通过一系列高精度的光学镜片和反射镜组,被投射到掩模版上。
掩模版是许志远亲手设计并刻蚀的,图案是一个简单的逻辑电路——这是他为第一片芯片设计的基础模板。光束穿过掩模版后,被精准投影到涂有光刻胶的硅片表面。
硅片被固定在步进扫描平台上,而平台以纳米级的精确度缓缓移动,将整个图案逐步曝光在硅片表面。
“光学投影系统运行正常,误差小于0.8微米。”系统的冷静提示音在小世界中回荡。
许志远盯着屏幕上的参数,嘴角微微上扬。这台光刻机的性能已经超出了他的预期。
光刻工艺的第一步是将电路图案通过曝光转移到硅片上。许志远从小世界的材料库中取出一片原始硅片,将其涂上一层均匀的光刻胶,放在光刻机的步进扫描平台上。
“曝光完成,下一步进行显影。”系统提示音响起。
许志远将曝光后的硅片取下,小心翼翼地放入显影槽中。显影液是他根据配方自行调配的,能够将光刻胶中被曝光的部分溶解,留下未曝光的部分作为掩膜。
显影完成后,一块布满精细电路图案的硅片呈现在他面前。许志远仔细检查了硅片表面,确认图案清晰且没有明显的缺陷。
“接下来是刻蚀。”他低声自语,随即将硅片放入等离子刻蚀机中。
刻蚀工艺是光刻机之后的关键步骤,通过化学反应将硅片表面未被掩膜保护的部分去除,形成真正的电路结构。这一步需要极高的精确度,否则会导致整个芯片报废。
等离子刻蚀机运转时,发出轻微的嗡鸣声。许志远盯着屏幕上的实时数据,手指不时在控制面板上调整参数。几分钟后,刻蚀完成,硅片被取出。
“刻蚀完成,表面结构清晰,电路完整。”系统再次给出了正面反馈。
接下来是掩膜的去除和金属化工艺。许志远将硅片放入化学槽中去除光刻胶,然后通过金属沉积技术为电路铺设导电层。经过一系列复杂的工艺之后,第一片芯片终于完成。
许志远小心翼翼地将芯片装载到测试平台上,连接好电源和测试设备。
他设计的这片芯片是一个简单的逻辑电路,用于验证光刻机的精度和工艺的完整性。如果这片芯片能够正常运行,就意味着他的光刻机完全达标。
“系统,启动测试程序。”许志远屏住呼吸,目不转睛地盯着屏幕。
测试仪器开始工作,芯片的电路被逐一检测,测试数据实时显示在屏幕上。
“输入信号正常……输出信号正常……逻辑运算正确……功耗符合预期……”系统的提示音一项接一项地响起。
终于,屏幕上出现了一行大字:
“芯片功能测试通过!”
许志远整个人僵住了,随即长长地吐出一口气,脸上露出了掩饰不住的笑容。他握紧拳头,忍不住低声喊了一句:“成了!真的成了!”
他激动地站起来,绕着光刻机转了一圈,双手撑在机器上,脸上写满了激动和满足。
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