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第468章 精密之困（第1页）

原子层沉积设备的零部件采购计划启动，但困难比预想的还要大。

陈静拿着采购清单，眉头紧锁：厂长，分子泵的供应商回复了，说最新的涡轮分子泵受出口管制，不能卖给我们。他们只肯卖老式的油扩散泵，但那个真空度不够。

流量控制器呢？

也一样。高精度的质量流量控制器，需要特别许可。普通的不够用。

真空腔体呢？

这个好一些，但能做高精度不锈钢真空腔体的厂家不多，交货期要两个月。

林凡听着汇报，面色凝重。科锐这一手，确实打在了七寸上。没有关键部件，原子层沉积设备就是一堆废铁。

韩博士，用低精度部件替代，行不行？他问。

韩博摇头：不行。原子层沉积的原理就是在原子尺度上控制薄膜生长，真空度不够，会有杂质；流量控制不准，薄膜厚度不均匀；腔体精度不够，温度场和气流场都会出问题。

那怎么办？

韩博沉默片刻，突然说：也许，咱们可以换个思路。

什么思路？

不做传统的原子层沉积，做改进版的。韩博拿起笔，在纸上画示意图，传统ALD需要超高真空和精密流量控制，是因为前驱体是气态的。如果咱们把前驱体改成液态，用喷墨打印的方式，一层一层喷上去呢？

喷墨打印？林凡眼睛一亮，你是说，像3D打印那样？

对，但精度要达到纳米级。韩博说，喷墨头要特别设计，液滴体积要控制在皮升级。前驱体溶液要高度均匀，挥发速度要精确控制。

这个技术，有现成的吗？

没有，得自己研发。韩博说，但好处是，对真空度要求大大降低，流量控制也简单，因为液体比气体稳定。难点在喷墨头和溶液配方。

林凡思考利弊。传统ALD技术成熟，但设备被卡脖子。新方案需要从头研发，风险大，但一旦成功，可能实现弯道超车。

值得一试。他拍板，韩博士，你带团队攻关喷墨打印方案。设备这边，我继续想办法，两条腿走路。

好。

韩博领命而去。林凡则开始思考更深层的问题。科锐能卡设备，是因为他们背后有美国的资本和技术支持。中国在高精密制造领域，确实还存在短板。这个短板，不是红星厂一家能解决的。但总得有人去做。

他想起了文明火种中关于精密制造的技术框架。虽然大部分内容还锁着，但基础原理已经解锁。或许，可以从中找到一些启发。

他闭目凝神，意识沉入系统。

精密制造技术树（基础部分已解锁）

超精密机床设计原理：静压导轨、空气轴承、激光干涉测量……

纳米级定位控制：压电陶瓷驱动、音圈电机、自适应算法……

材料热变形补偿：多传感器融合、实时建模、预测控制……

知识如涓涓细流，涌入脑海。林凡不是机械专业出身，但这些原理讲解得很透彻，结合他之前自学的一些知识，竟然能看懂七八成。

静压导轨，用高压油膜支撑，消除摩擦，他喃喃自语，这个技术，国内好像有企业在做。

他立刻上网搜索。果然，国内有几家机床厂在研究静压导轨，但精度还达不到国际顶尖水平。

如果能把火种中的原理与他们分享，或许能加速突破。林凡心想。但怎么分享？直接给图纸？不行，没法解释来源。只能通过合作，在交流中无意间提出一些思路。

他有了计划。

陈静，联系国内做高端机床的企业，就说咱们有精密制造的需求，想探讨合作可能。

可咱们不是做机床的啊。陈静疑惑。

现在不是，以后可能是。林凡说，先接触，了解行业现状。

好。

安排完这些，林凡又把王海叫来。

王工，车间里有没有老师傅懂机械加工的？特别是有精密加工经验的。

有啊，老李就是八级钳工，以前在军工干过，车铣刨磨样样精通。王海说，还有小张，是数控高手，编程和操作都很厉害。

把他们组成一个小组，专门研究设备改进。林凡说，先从简单的开始，比如改造现有的涂布机、辊压机，提高精度。

厂长，你是想，王海隐约猜到了。

咱们不能总靠买设备。林凡说，得有自己的制造能力。先从改造开始，积累经验，以后尝试自己做。

明白了，我马上安排。

精密制造小组很快成立，老李牵头，几个有经验的老师傅和年轻技术员参加。林凡把从系统中看到的一些基础原理，用通俗的方式讲给他们听。

静压导轨的原理，就像气垫船。在导轨和滑块之间形成一层油膜，让它们不直接接触，这样就没有摩擦，运动更平稳。

这个想法好！老李眼睛发亮，我以前在军工厂见过类似的设计，但用的是空气轴承。油膜的话，承载能力更大。

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